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济南量子技术研究院2024年04月(至)06月政府采购意向

预告-招标预告

山东 -济南-济南市

发布时间： 2024年04月26日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

招标详情

相关单位：

***********公司企业信息

**** 2024年04（至）06月

政府采购意向

为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将 **** 2024年 04（至）06 月采购意向公开如下：

序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

拟面向中小企业预留

预计采购时间

（填写到月）

备注

大数据C栋实验室设备采购项目（十三）

1、基片尺寸:8英寸寸向下兼容4英寸/6英寸及小尺寸 2、包含1个进样室、一个离子束刻蚀腔以及一个超高真空水冷溅射工艺腔，工艺腔包含： 1）3个4寸靶，角度可调； 2）一台功率不小于2000W的脉冲直流电源。电源脉冲10-100kHz频率可调；一台功率为1500W的直流电源，电源最大可输出电流4A，电压1000V；一台600W射频电源，自动匹配；一台电源转换器，用于将一台电源在靶枪之间程序切换； 3）本底真空度：≤5x10-9 Torr，采用低温泵，内外烘烤，无氧铜密封圈 3、8英寸镀膜均匀性优于±5%

700

否

2024年06月

本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

****

2024年04月26日

招标进度跟踪

2024-04-26

招标预告

济南量子技术研究院2024年04月(至)06月政府采购意向

当前信息

招标项目商机

招标预告

济南量子技术研究院2024年04月(至)07月政府采购意向

2024-04-30

招标预告

济南量子技术研究院2024年04月(至)06月政府采购意向

2024-04-26

400-688-2000

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