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等离子清洗机 | 1.0/台 | 不限 | 不限 | (1)等离子源频率13.56MHz 射频,功率0-500W可调; (2)腔体材质为石英,容积不小于5L; (3)最少2路处理气体气路,且气体流量可调; (4)含真空泵,工作真空度不高于30 Pa; (5)控制系统PLC自动控制,具有紧急停止按钮等;(6)7寸触摸屏,可图形化曲线图自动监测工艺参数状态及存储工艺数据;(8)具有门感应器和真空互锁功能。 | 至少一年免费维保和备件免费更换,且在设备出现故障后可提供远程技术支持。 |